|
�����ڹ�ҵ����������Ԥ�������������������⡢���պ���ȷ��淢���ų�����������á���ͳ��ѹ��������һ��ϊ��еʽ������ƚθ������ͻ��ͼ��ɻ�������mems�����������խ������ȱ�㣬���ܼ���ؽ��ͳɱ��������ܸ�ϊ���졣������mems�����õ��㷺ӧ�õ�ѹ����������ҫ��ѹ��ʽ�͵���ʽ�����࣬ѹ��ʽѹ�������������զⱥܺã�������һ�㣬��ư��һ���բ����ʽѹ����������֮��ȣ����ȸ��ߣ���ưс��оƭ�ṹ����³���ԣ������զȳ������ܼ������ݵ�ӱ�졣ŀǰmems����ʽѹ�������������ڹ�ѹ��������������ѹ�������ľ����ҽ۸�ϊ�ˣ�����������һ�ָ����ܡ��ͳɱ����͵�������ѹ�����������������̹��ռ�����ĥ����ѡ���裬���ýӵ�ʽ�ṹ���������������γ����ǻ�������koh�������ը�ʴ�����ʴ�γɹ象ĥ���������������ô���������������ѹ��������
����ѹ�������������������
���б�ĥ�ǵ���ѹ����ĵij���������ϡ��ߴ�ͺ�ⱦ����ŵ����������ܡ�
ŀǰ���б�ĥ�ij��϶�����ز���p�衢si3n4��������ȡ��⼸�ֲ��϶�������ȱ�㣬��ѡ����ŀ��ҫ��;��幤����ء���ĥ���ƻ�����е�������죬�������������γɿ�ǻ���ӽ��յ�ŀ�ij�����������ѡ���ĥ��
��������Ԫ��������ansys�խӵ�ʽ�ṹ�ı�ĥ����״̬������ģ�⡣����ϊsi��ĥ����״ϊ�����σ��߳�1000 μm��ĥ��5 μm��������10 μm����1.01105pa�ĵ���ѹ���£���ĥ����ӵ����ּ��ĸ��߽ǻ�������ӧ�����ı�����ӧ�����ϊ1.07 mpa��с�ڹ������ӧ��7 mpa��
|