�����զ���ӧ�÷�������ӧ�÷��������ʷŵ�����������ѹ�糬���������ij�����ʵ���е�ӧ��-k8体育

������������һ���ܽ���ƶ����ת��ϊ��е�ܵ�һ��װ�á�ŀǰ�ij�����������չѹ�٣����� mems ���գ�����΢���ӻ�΢��е�ӹ������������������ͳ����������������с�������ᡢ���ĵ͡������ȸߵ��ص㣬ӧ�õķ�χҳ���ӹ㷺��

����������һ���ϊѹ��ʽ�͵���ʽ�������������͡�ѹ��ʽ������������ͨ�����ϵ�ѹ��чӧ�����ź�ת��ϊ��е�ܣ������������ٴ��ݳ�ȥ������ʽ������������һ�־���ʽ������������ĥƭ���������������ƶ������������������������������ƺ�ӧ���϶����и��ե��ص�����ƣ���չѹ�١�

���ļ���ѹ����� pzt �����һ����������ѹ�糬�����������ܹ�������ת��ϊ��е�񶯣��ӷ���������������������ѹ�糬��������������ˮ�³�������ʵ�顣

ʵ���豸��ʾ������keysight-dsox3054a�����źŷ�������agilente4432b�������ʷŵ�����ata-4011���͸߾���ˮ������reson-tc4038��

ʵ�����ݣ�

ͨ�������������ʵ�ֲ��լг�ƽ̨�� x��y �� z ����ϵ�λ�ơ��źŷ���������ϊ�����ˣ�������ѹ�糬��������һ�������������źš��̶�λ�õ�ˮ��������ˮ�½�������ѹ�糬����������������ij���������ͨ��ʾ�������������������вɼ����ݡ�

���β������ȳ���ƶ��ϊ 321.15khz��ͨ���迹��������ǰ��ˮ�в�õ�����г��ƶ�ʣ���ֵϊ 10v ���ҵ�ѹ��ϊ����ѹ�糬�������������ļ����źš�����ˮ����������ѹ�糬���������ľ���ϊ 5cm�������豸����װ��ĺ�ϵ��ˮ�����������������с����ϊ 5cm�������ұ�֤ˮ�����ľ��ն˶�׼��������������λ�á����եľ����ͼ��ʾ����ɫ�ij������źŷ����������ij��σ���ɫ�ij�����ˮ�������յ��ij��ρ���ͼ�п��կ�����ˮ�������յ��ij����źŵ�ѹ���ֵϊ31mv��������ʵ������у��ڲ��ı�ˮ����������ѹ�糬�������������λ�úͼ�����ѹ��ֵ������£������ı����ҽ�����ƶ��ʱ��������ƶ��ϊ 357khz ʱ��ˮ�������յ��ij����ź�ǿ����� 

ϊ��ͬ������ƶ��ϊ 357khz ��ֵϊ 10v �����ҽ����ź���ˮ�������յ��ij����źų��ρ���ͼ�п��կ�����ˮ�������յ��ĵ�ѹ���ֵϊ 64.3mv��������ƶ�� 321.15khz �²�õ� 31mv��